第三届“精密测量与先进制造”网络会议将于12月5-6日召开◈ღ◈ღ◈，特别设置【半导体量检测】专场公海赌赌船官网jc710◈ღ◈ღ◈，诚邀您免费参会◈ღ◈ღ◈。

　　12月2日晚间◈ღ◈ღ◈，美国工业和安全局 (BIS) 修订了《出口管理条例》(EAR)◈ღ◈ღ◈，将 140个中国半导体行业相关实体添加到“实体清单”◈ღ◈ღ◈。其中◈ღ◈ღ◈，对24种半导体制造设备进行新的控制◈ღ◈ღ◈，涵盖刻蚀◈ღ◈ღ◈、沉积◈ღ◈ღ◈、光刻◈ღ◈ღ◈、离子注入◈ღ◈ღ◈、退火◈ღ◈ღ◈、量测◈ღ◈ღ◈、检查以及清洁工具◈ღ◈ღ◈。

　　量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述◈ღ◈ღ◈，如薄膜厚度◈ღ◈ღ◈、关键尺寸◈ღ◈ღ◈、刻蚀深度公海赌赌船官网jc710◈ღ◈ღ◈、表面形貌等物理性参数的量测◈ღ◈ღ◈；检测指在晶圆表面/深层上或电路结构中◈ღ◈ღ◈，检测其是否出现异质情况◈ღ◈ღ◈，如颗粒污染◈ღ◈ღ◈、表面划伤◈ღ◈ღ◈、内里缺陷公海赌赌船官网jc710◈ღ◈ღ◈、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷◈ღ◈ღ◈。

　　第三届“精密测量与先进制造”网络会议◈ღ◈ღ◈，特别设置【半导体量检测】专场◈ღ◈ღ◈，特邀中科院微电子所周维虎研究员◈ღ◈ღ◈、布鲁克应用经理黄鹤◈ღ◈ღ◈、中科院上海光机所苏榕研究员◈ღ◈ღ◈、西安交通大学杨树明教授带来精彩分享◈ღ◈ღ◈。

　　周维虎研究员长期从事精密光电测量技术与仪器研究◈ღ◈ღ◈，主持科技部重大仪器专项◈ღ◈ღ◈、国家重点研发计划◈ღ◈ღ◈、自然基金重大仪器专项◈ღ◈ღ◈、国防科工局重点预研◈ღ◈ღ◈、装备发展部军用测试仪器◈ღ◈ღ◈、中科院仪器装备项目等50余项精密测量与仪器类课题◈ღ◈ღ◈，获得中国机械工业科学技术发明特等奖◈ღ◈ღ◈、中国计量测试学会技术发明一等奖等7项省部级奖励◈ღ◈ღ◈，发表论文近200篇又糙又黄的糙汉◈ღ◈ღ◈，申请专利近50项又糙又黄的糙汉◈ღ◈ღ◈，编写教材1部◈ღ◈ღ◈，起草国家计量检定规程和规范4部◈ღ◈ღ◈，获得国务院特殊津贴◈ღ◈ღ◈、中科院朱李月华优秀教师奖◈ღ◈ღ◈、江苏省双创领军人才◈ღ◈ღ◈、青岛市创新领军人才等称号◈ღ◈ღ◈。成功研发国际上首台飞秒激光跟踪仪◈ღ◈ღ◈、国内首台三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪◈ღ◈ღ◈，打破了国外在激光跟踪测量领域的技术垄断◈ღ◈ღ◈。担任中国科学院大学岗位教授◈ღ◈ღ◈、博士生导师◈ღ◈ღ◈，北京航空航天大学◈ღ◈ღ◈、华中科技大学◈ღ◈ღ◈、大连理工大学◈ღ◈ღ◈、吉林大学◈ღ◈ღ◈、合肥工业大学等十余所高校兼职教授和博士生导师◈ღ◈ღ◈，南京航空航天大学特聘教授◈ღ◈ღ◈，湖北工业大学楚天学者教授◈ღ◈ღ◈。担任《计测技术》◈ღ◈ღ◈、《测控技术》◈ღ◈ღ◈、《中国测试》和《光电子》期刊编委◈ღ◈ღ◈，《Optical Engineering》◈ღ◈ღ◈、《中国航空学报（中◈ღ◈ღ◈、英文）》等十余份国内外期刊审稿人◈ღ◈ღ◈。

　　黄鹤博士现任布鲁克公司纳米表面仪器部中国区应用经理◈ღ◈ღ◈。服务于工艺设备和测量仪器行业超过15年◈ღ◈ღ◈，尤其在半导体◈ღ◈ღ◈、数据存储和材料表面工程研究领域拥有丰富经验◈ღ◈ღ◈，是一名材料学博士◈ღ◈ღ◈。黄鹤博士先后在香港理工大学任助研◈ღ◈ღ◈；在应用材料公司任高级应用工程师◈ღ◈ღ◈，负责化学机械抛光工艺和缺陷检测应用◈ღ◈ღ◈；在维易科公司任应用科学家又糙又黄的糙汉◈ღ◈ღ◈，负责白光干涉三维形貌技术推广与导入◈ღ◈ღ◈。

　　报告摘要◈ღ◈ღ◈：主要探讨布鲁克的原子力显微镜和白光干涉仪在半导体材料制备◈ღ◈ღ◈、器件制程和失效分析上的典型应用◈ღ◈ღ◈。第一部分将介绍布鲁克纳米表面量测部的主要技术类型◈ღ◈ღ◈，原子力显微镜和白光干涉仪的原理◈ღ◈ღ◈。第二部分将详细举例说明在半导体材料制备◈ღ◈ღ◈、器件制程和失效分析中典型应用案例◈ღ◈ღ◈。第三部分将探讨不同精密测量方法的特点和差异◈ღ◈ღ◈。

　　苏榕◈ღ◈ღ◈，现任中国科学院上海光学精密机械研究所研究员◈ღ◈ღ◈，博士生导师◈ღ◈ღ◈，高端光电装备部副部长◈ღ◈ღ◈。2007年毕业于中山大学物理系◈ღ◈ღ◈，后获瑞典皇家理工大学硕士◈ღ◈ღ◈、博士学位◈ღ◈ღ◈。曾就职于英国国家物理实验室及诺丁汉大学◈ღ◈ღ◈，长期从事超精密光学干涉公海赌赌船官网jc710◈ღ◈ღ◈、散射及表明形貌测量仪器与技术研究◈ღ◈ღ◈，聚焦仪器研制◈ღ◈ღ◈、物理仿真◈ღ◈ღ◈、核心算法◈ღ◈ღ◈、校准技术◈ღ◈ღ◈、工业应用及相关国际标准制定◈ღ◈ღ◈。发表论文40余篇◈ღ◈ღ◈，书籍章节2章◈ღ◈ღ◈。担任期刊《Light: Advanced Manufacturing》和《Nanomanufacturing and Metrology》编委及《激光与光电子学进展》青年编委◈ღ◈ღ◈，全国产品几何技术规范标准化技术委员会（SAC/TC240）委员又糙又黄的糙汉◈ღ◈ღ◈，中国计量测试学会计量仪器专业委员会委员◈ღ◈ღ◈，中国仪器仪表学会显微分会委员◈ღ◈ღ◈，中国仪器仪表学会集成电路测量与仪器分会委员◈ღ◈ღ◈。

　　报告摘要◈ღ◈ღ◈：显微干涉测量技术◈ღ◈ღ◈，包括白光干涉仪◈ღ◈ღ◈、光学相干层析◈ღ◈ღ◈、定量相位成像◈ღ◈ღ◈、数字全息显微等◈ღ◈ღ◈，被广泛应用于材料科学◈ღ◈ღ◈、半导体◈ღ◈ღ◈、光学◈ღ◈ღ◈、生命科学等领域公海赌赌船官网jc710◈ღ◈ღ◈。通过结合干涉测量和显微成像◈ღ◈ღ◈，能够在微观尺度上实现无接触◈ღ◈ღ◈、高分辨率的表面形貌测量◈ღ◈ღ◈，具备高精度和高灵敏度的特点◈ღ◈ღ◈。本报告将从原理◈ღ◈ღ◈、应用◈ღ◈ღ◈、关键指标几个方面介绍我们团队在该领域的工作◈ღ◈ღ◈。

　　杨树明又糙又黄的糙汉◈ღ◈ღ◈，西安交通大学二级教授◈ღ◈ღ◈，博士生导师◈ღ◈ღ◈，国家杰出青年基金获得者◈ღ◈ღ◈、国务院学位委员会学科评议组成员◈ღ◈ღ◈、国家重点研发计划首席科学家◈ღ◈ღ◈、教育部新世纪优秀人才◈ღ◈ღ◈、陕西省重点科技创新团队带头人等◈ღ◈ღ◈。承担国家及省部级重大重点项目20余项◈ღ◈ღ◈，发表学术论文200多篇又糙又黄的糙汉◈ღ◈ღ◈，出版专著2部和论文集5部◈ღ◈ღ◈，授权/公开国际国内发明专利100余件◈ღ◈ღ◈，立项国家标准2项◈ღ◈ღ◈，获得科技奖励10余项◈ღ◈ღ◈。被遴选为国际纳米制造学会（ISNM）会士◈ღ◈ღ◈、亚洲精密工程与纳米技术学会（ASPEN）理事◈ღ◈ღ◈；担任中国计量测试学会常务理事◈ღ◈ღ◈、中国微米纳米技术学会微纳米测量与仪器分会副理事长◈ღ◈ღ◈、中国仪器仪表学会集成电路测量与仪器分会副主任委员◈ღ◈ღ◈、中国计量测试学会几何量专业委员会副主任委员◈ღ◈ღ◈、中国机械工程学会微纳制造技术分会副主任委员等◈ღ◈ღ◈。在国际和国内学术会议应邀做大会报告和特邀报告100余次又糙又黄的糙汉公海赌赌船官网jc710◈ღ◈ღ◈，担任JMS公海赌赌船官网jc710公海赌赌船官网jc710◈ღ◈ღ◈、IJPEM-GT◈ღ◈ღ◈、IJRAT◈ღ◈ღ◈、FME◈ღ◈ღ◈、NMME◈ღ◈ღ◈、IJEM◈ღ◈ღ◈、MST◈ღ◈ღ◈、PE◈ღ◈ღ◈、IJAMT◈ღ◈ღ◈、Photonics等国际期刊编委和客座编委以及多个国内期刊编委等◈ღ◈ღ◈。

　　报告摘要◈ღ◈ღ◈：该报告将介绍碳纳米管探针◈ღ◈ღ◈、光学纳米探针和复合纳米探针的可控制备方法◈ღ◈ღ◈，并介绍三类探针在芯片结构尺寸测量以及缺陷检测方面的应用◈ღ◈ღ◈。公海◈ღ◈ღ◈，公海赌赌船登录网址◈ღ◈ღ◈。欢迎公海赌赌船官网◈ღ◈ღ◈，精密机械◈ღ◈ღ◈。欢迎来到公赌船jcjc710公司◈ღ◈ღ◈！精密仪器◈ღ◈ღ◈，公海赌赌船最新登录地址欢迎来到公赌船jcjc710◈ღ◈ღ◈！